半導体用バーンインチャンバーの処理能力を上げる

信頼性が重視される市場分野では、品質、信頼性、安定性とともに最高レベルの半導体ICが求められており、それに伴いバーンインチャンバーの需要も拡大しています。しかし、電源装置とバーンインシステムの大型化や数を増やすだけの対応では、従来ATEシステムで生じていた、設置スペースの課題が残ります。

全ての市場分野でICの高性能化と複雑化が進んでおり、特にオートモーティブとデータセンター市場では厳しい品質基準と信頼性が求められ、不良率はゼロPPMであることが期待されます。これらを満たすために、デバイスのバーンイン試験が次第に増えています。Vicorの電源ソリューションを導入すれば小型化ができ、モジュールで構成するため素早く試験装置の開発ができます。バーンイン装置の処理能力を引き上げながら、テストコストを抑えることができます。

電力供給ネットワーク (PDN)

バーンイン装置に必要な、ハイパワー、高効率、優れた温度制御性能を実現するには、分散型48V電源バスの電力供給ネットワーク (PDN) が最適です。Vicorの低電圧 BCM は、電力密度が高く大電流の電圧変換比固定のコンバータで、Full-Chip または Half-Chip のパッケージであり、バーンイン試験中の負荷への給電に使用します。BCMはプレーナ型トランスを使うことで薄型（通常 8mm 以下）を実現しており、放熱性に優れ冷却が容易です。また、多くの電圧変換比を揃えているためフレキシブルに使うことができ、モジュールであるため、簡単にバーンインボードを作ることができます。Vicorにはもうひとつ電圧変換比固定コンバータがあります。双方向電圧変換が可能な非絶縁バスコンバータの NBM シリーズです。このシリーズのNBM2317は、放熱性に優れた小型パッケージ (23mm X 17mm X 5.2mm) の高効率・大電力バスコンバータで、分散型48Vバスから12Vへ96%以上の効率で変換することができます。